GF introduceert SYGEF Ultra, een high-purity PEEK-leidingsysteem voor het transport van ultrapuur water specifiek voor de volgende generatie van halfgeleiderproductie. Tests wijzen uit dat het systeem de spoeltijd met circa 80% kan verkorten ten opzichte van gangbare high-purity PVDF-systemen, waardoor installaties sneller in bedrijf kunnen worden genomen.

De groei van AI en high-performance computing brengt een toename in de productie van halfgeleiders met zich mee. Chipontwerpen worden kleiner en complexer. Hierdoor komt een nog grotere nadruk op het minimaliseren van contaminatie te liggen. Zelfs zeer kleine verontreinigingen kunnen de processtabiliteit en de ‘yield’ beïnvloeden. De yield is het percentage werkende chips dat uit een wafer wordt geproduceerd.
Een minimale contaminatie in ultrapuur water (UPW) is daarom essentieel. Met leidingsysteem SYGEF Ultra wil GF producenten helpen te voldoen aan strenge zuiverheidseisen voor (heet) ultrapuur water en de yield te maximaliseren. Het gebruik van high-purity PEEK sluit bovendien aan bij de verwachte veranderingen in toekomstige regelgeving.
De basis van het leidingsysteem is high-purity polyetheretherketon (PEEK), een hoogwaardige kunststof die mechanische sterkte bij hogere temperaturen combineert met slagvastheid en chemische bestendigheid. De geringe leach-out en het gladde binnenoppervlak overtreffen de eisen van de SEMI F57-standaard voor high-purity polymere materialen en componenten in distributiesystemen voor ultrapuur water.
Tests wijzen volgensd het bedrijf uit dat het systeem binnen enkele dagen de vereiste waterkwaliteit kan bereiken. ‘Daarmee wordt de spoeltijd met circa 80% verminderd ten opzichte van gangbare high-purity PVDF-systemen, wat leidt tot een efficiëntere ingebruikname met minder verbruik van middelen en hulpstoffen.’ SYGEF Ultra is ontworpen voor een levensduur van minimaal 25 jaar onder de beoogde bedrijfsomstandigheden en is vervaardigd uit PEEK-HP, een PFAS-vrij * materiaal.
* De Organization for Economic Co-operation and Development (OECD) definieert PFAS als [1] ge-fluoreerde stoffen die ten minste één volledig gefluoreerd methyl- of methyleenkoolstofatoom be-vatten, zonder dat daaraan een waterstof-, chloor-, broom- of jodiumatoom is gebonden. Op enkele uitzonderingen na gaat het daarmee om stoffen met ten minste een perfluormethylgroep (–CF₃) of perfluormethyleengroep (–CF₂–). Deze OECD-definitie wordt ook gebruikt in de huidige versie van het Annex XV-beperkingsvoorstel [2] dat is ingediend binnen het kader van Verordening (EG) nr. 1907/2006 (REACH).
[1] OECD (2021), Reconciling Terminology of the Universe of Per- and Polyfluoroalkyl Substances: Recommendations and Practical Guidance, OECD Series on Risk Management, No. 61, OECD Publishing, Parijs.
[2] European Chemicals Agency (ECHA) (2023), Per- and Polyfluoroalkyl Substances (PFAS) Restriction Proposal under REACH, Restrictions under Consideration, European Chemicals Agency, Helsinki.
SYGEF Ultra is een leidingsysteem van polyetheretherketon (PEEK). De PEEK-grondstof die voor de productie wordt gebruikt, valt niet onder de hierboven genoemde OECD-definitie van PFAS – en is dus PFAS-vrij. Veelgebruikte afdichtings- en pakkingmaterialen, zoals fluorelastomeren (FKM) en polytetrafluorethyleen (PTFE), zijn echter gefluoreerde materialen. Daarom kan het volledige SYGEF Ultra-leidingsysteem niet als PFAS-vrij worden aangemerkt




